三座标非接触测量显微镜

简要描述：本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、自动调焦技术、亚象素寻边技术测量分析软件极大提高测量精度和测量效率。

产品型号： CN

所属分类：测量显微镜

更新时间：2024-03-18

详细说明：

CN三座标非接触测量显微镜

本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、自动调焦技术、亚象素寻边技术测量分析软件极大提高测量精度和测量效率。仪器光学系统品质优良，物镜成像清晰，倍率广泛。提供物体轮廓（透射）和表面（反射）同轴照明，保证物体影像清晰。导轨、丝杠、光栅尺、电机等关键部件全部选用国外，保证系统的高质量和高可靠性。

自动识辨物体焦面位置和自动寻找物体亚象素边界。优质运动控制器和图像传感器，保证高品质图像质量和工作台的低噪音平稳运动。 X、Y、Z轴全部电机闭环控制运动，Z轴装有粗微调焦手轮调节以适应测量工件高度要求。多种形位尺寸（几何元素）测量，点、线、面、圆、椭圆、球面及其几何元素间的关系，圆度、球度、平面度等形状公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定义与自动三维采点测量，按国标GB11337-98的各种方法自动进行平面度误差检测。提供测量编程指令，具有自学习编程功能，自动批量快速测量，大大提高检测效率。

人性化方便的运动控制和多种方式的测量功能，编程和自学习，成倍提高测量效率。系统提供多达20个机械坐标和工件坐标。无需转台，实时非接触测量物体的高度、距离、角度等参数。无需倾斜台，对物体基准面进行数学找正，避免物理找正的烦琐。提供强大的数理统计分析和数据库功能：统计参数计算，正态、历史、直方图、X2、T、F分布，X2、T、F检验，单因素方差分析和相关性检验等。输出结果形式多样，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等应用软件使用。几何形状测量与构造实时图形的直观显示，利于测量检查。提供在线帮助功能，操作简便，易学易用。

技术参数

工作台行程	标配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
工作台行程	选配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm
光学尺分辨率	标配：0.001mm闭式; 选配：0.0005mm闭式,0.0001mm开式
重复定位精度	X,Y,Z: ≤0.0015mm
重复调焦精度（倍率大于150X）	≤0.0015mm
系统不确定度	分辨率为0.001mm时：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm
	分辨率为0.0005mm时：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm
	分辨率为0.0001mm时：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm

仪器配置

部件名称	规格（标配）		选件		备注
CCD工业摄像头	彩色CCD（1/2”）		黑白CCD（1/2”）		复合或标准视频
工业显微镜	连续变倍：1:10 1.5X物镜（50～500X）		连续变倍：0.7-4.5X; 工业内照明高倍率长工作距显微镜，物镜倍率：3X～100X		C-Mount接口
计算机系统	商用PC，98/2000/XP		工业控制机 ,彩色喷墨打印机
测量控制软件	TDYMS V60CNC
底座	花岗石00级
照明光源	透 6V20W，反21V150W可调卤素灯	外接照明
工作台行程（测量范围）	X:150mm,Y:150mm，Z:100mm	X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm		Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量（80mm 范围）
驱动方式	X、Y、Z：CNC电动	JOG控制盒
驱动电机	三相步进电机	伺服电机

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